一、研究方向

微波与真空技术研究室以微波技术、真空技术、半导体技术等为主要研究领域，面向集成电路装备核心部件研发、高端半导体装备制造、微波与射频器件开发、新型半导体材料研发等重点方向，打造一个国内具有一定影响力的专业技术研发团队。

二、核心技术

2.45GHz微波电源是团队研发的常用等离子体发生器之一，是等离子清洗机、刻蚀机、薄膜沉积设备的核心零部件。微波电源应用领域主要在电感耦合等离子设备、微波等离子化学气相沉积等半导体设备中，在晶体生长、离子蚀刻及干法去胶的半导体工艺中起关键作用。

2.45GHz微波电源

通过模块化技术，2.45GHz微波电源以独立均分电源模块形式，将超过最大功率约20%的总功率分为若干模块。同时，将电源易失效的逆变器部分设计成为均分的独立输出模块，以并联输出的方式组合。可在线、动态、随时地更替其中任一独立输出模块，不影响电源的整体输出能力。另一方面，采用高频脉冲输出技术，可以有效克服现有技术难点如原子沉积角度分布散，沉积深度浅，槽壁易损伤等问题，极大改善了成膜质量。并针对现有技术冷却效果差，机箱温度偏高导致电源输出不稳定等现象，提出往复风道模块化直冷技术，使用新型导热材料可有效增强冷却效果，从而提高电源稳定性。

大功率微波电源在产品性能方面优于国外同款产品，具有频率、功率精度更高的优点。本产品已于2019年9月召开产品发布会，获得业界一致好评，并荣获第二十二届中国国际高新技术成果交易会优秀产品奖。

三、主要成果

本项目主要是为了研发出具备高能量密度，稳定可控特性的微波电源，突破与创新主要包括以下四个方面：

第一、采用高频脉冲输出技术，可以有效克服现有技术难点如原子沉积角度分布散，沉积深度浅，槽壁易损伤等，极大改善了成膜质量；

第二、现有技术是间接冷却，冷却效率差，导致机箱内温度偏高，后果是电源输出稳定差，且功率器件易失效和损坏，采用往复风道模块化直冷技术使用新型导热材料可有效增强冷却效果，从而提高了电源稳定性；

第三、针对信号噪音大、输出精密度不高的技术难点，开发出基于数据分析的智能控制系统，可提高信号质量，增加输出精度，改善输出重复性；

第四、现有技术检修时间久，无法只能预测，售后服务滞后，采用前向自适应滤波构架技术，可以智能控制，远程监控，从而提高了工作效率和售后服务质量。

四、未来计划

大功率微波电源初代机在满足各项技术指标的情况下也存在极大的提升空间，如输出功率、稳定性以及可操作性和易维护性上。后续工作重点将致力于微波电源的产业化，并联合应用商对微波电源在实际使用中的问题进行改进。

目前团队也在积极拓展其它项目，如射频电源领域也是团队接下来的工作重心。400KHz、2MHz以及60MHz大功率射频电源也在有条不紊的推进之中。