11月6日，第十二届中国（绵阳）科技城国际科技博览会（简称科博会）在四川绵阳盛大开幕。本届科博会以“科创引领·新质转化·开放合作”为主题，包含战略科技、前沿科技、国际合作、中国（西部）科学城等4个专题展和航空航天国防科技主题展。季华实验室受邀参加本届科博会，为大会带来了半导体装备和零部件以及新材料、新器件领域的最新成果。

△季华实验室展位

本届科博会，季华实验室主要展出了半导体装备和零部件领域的射频电源、远程等离子体源、真空高速蝶阀、SiC材料制备和器件制造成套装备，以及新材料、新器件领域的先进轻质耐热钛铝合金材料及器件、紧凑型乘用车非充气轮胎、两轮电动车非充气轮胎。

○射频电源

RF-13.56M-3000、RF-27.12M-3000射频电源稳定的频率及功率输出特性使其非常适用于提供真空腔室等离子体放电所需的射频能量，主要应用于集成电路的等离子刻蚀、等离子沉积以及等离子溅射等工艺设备，是极大规模集成电路制造装备及成套工艺的核心零部件产品。

○远程等离子源

采用2.45GHz微波能量将输入谐振腔的工艺气体离化成等离子体状态。对于绝大多数工艺体，本远程等离子源的离化率可以超过95%，具有损伤小、效率高、稳定性好、易维护等优势。

○真空高速蝶阀

蝶阀内部集成的压力控制器通过采用自适应控制算法，快速且精准地计算所需阀门位置，使其能够在不同的真空环境中快速、无超调和精准控制真空设备压力。同时使用高精度电机调节阀门位置，实现阀门的快速、精准定位。

○SiC高温外延生长装备

该装备重点攻克耐高温耐腐蚀材料反应室设计技术、均匀高温加热场设计、高精度温度控制技术、高温真空低漏率设计技术，旋转系统设计、膜厚及表面形貌的高精度实时监控技术、SiC高速外延工艺技术等核心关键技术，成功实现大尺寸化、高速生产化、高良率化、低能耗化、全自动化，研发出满足高速SiC外延生长要求的高温外延生长装备，实现了国产装备自主可控和批量应用，推动我国第三代半导体产业自主可控发展。

○先进轻质耐热钛铝合金材料及器件

针对现有钛铝材料承温低，熔炼、热加工成本高，难以在先进内燃机实现工程应用的瓶颈问题，发明了承温达800℃的钛铝材料，创新出钛铝合金低成本熔炼、变形等关键技术，申请了20余项国家发明专利。目前，热挤压钛铝气门已在某主机厂**型号发动机上实现商业应用（我国民用领域首例）。这些成果将有力提高我国先进内燃机综合性能，推动我国动力装备制造业的高质量快速发展，助力新材料新质生产力提升。

○紧凑型乘用车非充气轮胎

最大载荷710kg（单胎），最高时速150km/h，根据紧凑型乘用车轮胎型号进行开发。在第一代非充气轮胎的基础上，从轮胎底部承载技术发展至轮胎全局承载技术，重量得到减轻，性能得到增强。并与吉林大学针对轮胎动力学技术共建风洞试验场，是国内首条经轮胎风洞实验场测试后得到反馈数据的产品，综合行驶性能与充气轮胎接近。

○两轮电动车非充气轮胎

最大载荷75kg（单胎），最高时速25km/h，根据市场保有量最多电动自行车轮胎型号开发。该产品可进行多颜色搭配，目前已根据ID设计出深海蓝、热情红、奶油白、传统黑等四款颜色，并且根据消费者不同期待，可进行混色搭配。已邀请多名消费者进行非充气轮胎体验，目前收集数据累计测试超5W公里，消费者反馈超预期体验，路感良好且无需担心极限、碎石、台阶等易于破坏传统充气轮胎路况。

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展会时间：11月6日-10日

展会地点：四川省绵阳市绵阳国际会展中心

展位号：A展馆前沿科技展区产学研板块

电子邮件：wangyf@jihualab.ac.cn

联系电话：18666526676